J技术中心
在东京展览中心 (showroom) 我们将展示作为我们司主力产品的机械手臂及伯努利手指等产品。
若承蒙贵司提前联系！可以在现场就贵司晶圆做相动作确认。
请联系下述联络方式，并恳请您能莅临现场！
JEL技术中心信息
- 伯努利吸着确认
伯努利吸着确认可以使用范围是150mm, 200mm, 300mm
- 校准器精度测定
使用于测定夹具来，可以在现场就贵司晶圆做相校准器精度测定
- 机械手臂操作试开
在技术中心可以用于JEL机械手臂试开
咨询 ・报名申请
- 窗口
- 株式会社JEL 总公司
- 电话号码
- +81-84-932-6500
- FAX号码
- +81-84-932-6501
展示产品
- φ300mm用贴膜框架搬运MTCR: MTCR4160-300-AM
- 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求。
- 对应φ150、200 mm 化合物的STCR: STCR4160S-300-PM
- 适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运，双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间。
- 储片盒内晶圆的自动搬运系统: SSY-10010
- 可安全准确的搬运储片盒的的薄片。搭载储片盒自动开盖机构（已申请专利）
- 300mm晶圆搬运双臂机械手臂 (采用闭环位置控制): STCR4160SN-300-CM
- 适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂。
- 300mm晶圆搬运水平多关节型洁净机械手臂: GCR4210-300-PM
- 超洁净无尘间用多轴，4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4000-PM系列。
适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。
- 可用于150，200mm减薄晶圆传输的机械手臂/校准器: STCR4160S-300-PM/SAL3481
- 展示了能够安全而且高精度地搬运LED蓝宝石2，3寸晶圆，以及半导体100-150mm晶圆的机械手臂产品以及可以高精度定位晶圆位置的校准器产品。产品具有体积小巧以及布局灵活的特点。
- 可用于2, 3寸, 100-150mm晶圆搬运校准器: SAL3261HV
- 适用于100-200mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型校准器。
- 150mm晶圆搬运边缘夹持方式校准器: SAL2061
- 通过夹持晶圆边缘的方式高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口。
- 桌面装卸载系统：SSY-10000
- 适用于2,3寸，100mm玻璃片，蓝宝石衬底，SiC，GaN，等多种晶圆的自动传输。
- 适用于翘曲晶圆，减薄晶圆的伯努利原理手指
- 为客户定制设计的，低价格伯努利原理手指。