展览会信息2010
- Semicon Japan 2010
- 展示日期：2010年12月1日起12月3日
- 参展产品的介绍
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- SORTER SYSTEM（150mm）
- Susceptor搬送真空机械手和真空校准器 :
SVCR3330S-060-PM＆SVAL30D1
- 小型机械手和校准器：（2英寸～4英寸）:
SSCR3115N-150-PM＆SSCR2090S-PM＆SAL3241GR
- 能够对应450mm直径晶圆搬送机械手 : GTCR5280-420-AM
- 晶圆搬送机械手 : MTCR4160S-300-AM
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