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伯努利吸笔

Bernoulli Hand

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称伯努利吸笔
可搬运晶圆尺寸2,3寸, 100~150mm(*)
*可为客户定制适用于200mm,300mm晶圆的产品
更详细的信息可以询问客服

产品特点

利用伯努利原理能够吸附减薄晶圆轻盈,小巧, 由于不属于真空吸附,能够降低晶圆破损的风险至最低。

  • 吸笔前端能够自由活动不但能够应对水平摆放的晶圆,还能够从晶圆片盒,晶圆Cassette中取放晶圆片。
    同时还可以用于晶圆之外的各种物体的搬运。
  • 利用旋风效应吸附晶圆,吸盘不需要和晶圆完全接触
  • 和被吸附物接触的吸盘垫片(材质:氟橡胶)能够缓冲吸附过程中的冲击力,并且不需要夹持被吸附物的边缘。
  • 前端吸盘模块和本体之间使用了可调节的软管结构,作业员能够任意地调节吸盘和本体之间的相对角度。

标准规格

被搬运物 2, 3寸, 100~150mm
可为客户定制适用于200mm,300mm晶圆的产品
材质 铝合金(前端)
表面处理 旋风吸盘:黑色阳极氧化处理
前端其他部分:白色阳极氧化处理
晶圆吸附方式 利用旋风吸盘提供吸力并利用氟橡胶材
质的垫片保持晶圆和吸盘之间的相对位置
允许搬运重量 50g以下
使用气体 洁净空气,N2
供给压力 0.3MPa以下(吸笔本体的入口处)
气体流量 最大15L/min
质量 110g
  • 开关部分的相对滑动部件之间没有使用润滑油
  • 旋风吸盘  标配数量:1个
  • 垫片(材质:氟橡胶)通过和晶圆接触起到了保持晶圆和吸盘之间相对位置的作用
  • 连接件  120度类型(默认出厂状态), 90度类型(附件)

※有关产品规格的其他细节请咨询我司销售

压力-吸力关系图
软管可动范围


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单臂
  • ...双臂
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註