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半导体搬运机械手臂

GCR4210 (配备手指旋转功能模块)

GCR4210 (Robot with end-effectors with rotation function)

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称GCR4210
使用环境洁净间内的大气环境
手臂单臂(双手指)
到达距离400 mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程300 mm
可搬运重量4 kgf (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号升降轴最大行程
GCR4210-300-AM300 mm
  • 视频展示产品为 GCR4210-300-AM(配备手指旋转功能模块)

产品特点

超清洁室用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手臂。
适用于支持300 mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运。
通过在手指上增加旋转功能模块,单手臂结构的机械手臂也可以同时安装两片手指,并在片盒或者工位附近完成晶圆的更换动作。
由于机械手臂的手臂轴不再需要缩回到原点位置,能够有效地缩短传片时间,提高传片效率。

  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板
  • AC伺服电机的采用以及,对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化
  • 可以选配2相步进电机规格

标准规格

测试机型:GCR4210-300-AM (配备手指旋转功能模块) 中的具有代表性的标准品
机械手臂规格
机械手臂型号 GCR4210-300-AM
被搬运物 ~300 mm硅片晶圆
晶圆吸附方式 真空吸附式
机械结构格式 水平多关节 控制轴 4轴
电机类型 AC伺服电机
可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
640 mm 335度 300 mm
腕部模块旋转角度
±180 deg
搬运速度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
430 mm/0.8 sec 335度/1.0 sec 300 mm/0.9 sec
精度 第1关节轴 第2关节轴 第3关节轴
0.0015 度 0.0018 度 0.0018 度
Z轴  
1.96 µm  
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相 AC200V±10% 2 kVA
真空:优于-53 kPa
质量 机械手臂体 大约37 kg
控制器规格
控制器型号 C5000S系列
控制通讯方式 RS232C及并口I/O方式
外观图(标准规格)
Drawing of GCR4210-300-AM (with end-effectors with rotation function)


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註