半导体搬运机械手臂
GCR4280(大口径晶圆搬运)4轴水平多关节型洁净机械手臂
产品视频
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使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 | GCR4280 |
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| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
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| 手臂 | 单臂 |
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| 到达距离 | 553mm (手臂第3关节中心到达距离) |
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| 升降轴最大行程 | 300mm / 420mm |
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| 可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
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产品型号列表
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
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| 标准 | GCR4280-300-AM | 300mm |
| | GCR4280-420-AM | 420mm |
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产品特点
超洁净无尘间用多轴，4轴水平多关节型机械手臂GCR4280-AM系列。
适用于大口径晶圆 (300mm，450mm)半导体生产设备，检测设备等的晶圆搬运。
- 机械手臂标准臂长:280mm
- 仅机械手时可支持3FOUP (300mm晶圆)，2个FOUP（450mm晶圆）
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 可选用双夹盘规格
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
上述规格为本司使用标准真空吸附方式手指情况下的标准机械手臂规格的一个示例
| 机械手臂型号 |
GCR4280-300-AM |
| 被搬运物 |
～450mm晶圆, 小型玻璃基板 |
| 晶圆吸附方式 |
真空吸附式 |
| 机械结构格式 |
水平多关节 |
控制轴 |
4轴 |
| 电机类型 |
全轴采用AC伺服电机 |
| 可动范围 |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 863mm |
335度 |
300mm |
| 搬运速度（平均） |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 900mm/sec |
250度/sec |
300mm/sec |
| 搬运速度（最大） |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1300mm/sec |
350度/sec |
450mm/sec |
| 精度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 0.0018度 |
0.0015度 |
1.96µm |
| 搬运高度 |
669mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度) |
| 重复性精度 |
±0.1mm以内 |
| 洁净度 |
ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) |
| 厂务 |
电源：单相 AC200V±10% 2kVA 真空：优于-53kPa(使用真空吸附式手指) |
| 控制器型号 |
C5000S |
| 控制通讯方式 |
RS232C及并口I/O方式 |
产品一览
