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半导体搬运机械手臂

JCR4400 (基板校准模块的机械手臂)

JCR4400 (Robot with alignment function

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称JCR4400
使用环境洁净间内的大气环境
手臂单臂
到达距离1290 mm (被搬送物体中心到达距离)
升降轴最大行程320 mm
可搬运重量15 kgf (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号升降轴最大行程
JCR4400-320-AM320 mm
  • 视频展示产品为 JCR4400(基板校准模块的机械手臂)

产品特点

能够高精度搬运Mask和Molded基板(FOPLP)的四轴水平多关节型洁净机械手臂(FOPLP=Fan-Out Panel Level Package工艺)。
可在手指上 同时对基板的Y方向和X方向进行校准,完成基板的中心校准功能。
不再需要另行设置基板的中心校准机构,提高系统的传片效率。
水平多关节机械手臂,不需要另外配置走形轴就可以对应基板偏移摆放布局。
Molded方形基板可以在机械手臂的手指上完成校准,实现高精度传片功能。

  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

标准规格

测试机型:JCR4400-320-AM (基板校准模块的机械手臂)
机械手臂规格
机械手臂型号 JCR4400-320-AM
被搬运物 基板 500 mm x 517 mm(5 kgf)
晶圆吸附方式 真空吸附式
机械结构格式 水平多关节 控制轴 4轴
电机类型 AC伺服电机
可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
1290 mm 335度 320 mm
搬运速度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
1140 mm/1.6 sec 335 度/1.5 sec 320 mm/1.1 sec
精度 第1关节轴 (J1轴) 第2关节轴 (J2轴) 第3关节轴 (J3轴)
3.15x10-7 1.78x10-7 2.14x10-7
第4关节轴 (J4轴)  
3.97x10-7  
重复性精度 ±0.2 mm以内
洁净度 机械手臂体: 0.3 µm/cf Class 10 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相 AC200V±10% 4.5 kVA   真空:优于-53kPa
质量 机械手臂体 大约80 kg
控制器规格
控制器型号 C5000S系列
控制通讯方式 RS232C及并口I/O方式
外观图(标准规格)
JCR4400-320-AM


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註