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玻璃基板搬运机械手臂

LVHR3440S (玻璃基板)3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

LVHR3440S-040-SM

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称LVHR3440S
使用环境洁净间内的大气:温度 15°C-40°C
工艺室温度   15°C-50°C 以下
手臂单臂
到达距离880mm (手臂第3关节中心基准)
升降轴最大行程20mm/ 32mm/ 40mm/ 60mm/ 320mm
可搬运重量10kgf以下 (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

型号名称升降轴最大行程
LVHR3440S-020-SM20mm
LVHR3440S-032-SM32mm
LVHR3440S-040-SM40mm
LVHR3440S-060-SM60mm
LVHR3440S-320-SM320mm
  • 照片和 LVHR3440S-040-SM

产品特点

对应玻璃基板搬运的3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂LVHR3000系列。
适用于液晶面板生产设备内部,检测设备等的玻璃基板搬运。

  • 机械手臂标准臂长: 330mm, 440mm, 500mm, 550mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准10kgf以下
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封:磁流体密封装置和波纹管
  • 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

标准规格

*测试机型:LVHR3440S-040-SM的标准型号
被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同
机械手臂规格
机械手臂型号 LVHR3440S-040-SM
被搬运物 730×920×1.1mm 玻璃基板(具有代表性的标准尺寸)
机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴
电机类型 全轴采用AC伺服电机
可动范围 手臂第3关节中心基准 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
880mm ±182度 40mm
搬送速度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
1320mm/2.7sec 180度/1.8sec 40mm/2.0sec
精度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
13.5µm以下 0.00097度 0.61µm以下
搬运高度 168.5mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.2mm以内
洁净度 真空密封:磁流体密封装置和波纹管
耐真空度 1.33×10-6Pa
厂务 电源:単相 AC200V±10% 2kVA
控制器规格
控制器型号 C5000S系列
控制通讯方式 控制方式:串口RS232C或者并口光学I/O口
外观图(标准规格)
LVHR3440S-040-SM


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註