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半导体搬运机械手臂

MTCR4160L (5片间距可调手指规格)4轴圆柱坐标洁净机械手臂

MTCR4160L (with batch end-effector for 5 pieces of wafer)

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称MTCR4160L
使用环境洁净间内的大气环境
手臂双臂
到达距离710mm (被搬送物体中心到达距离)
升降轴最大行程700mm

产品型号列表

型号名称升降轴最大行程
MTCR4160L-700-AM700mm
  • 照片和视频为 MTCR4160L-700-AM (5片间距可调手指规格)

产品特点

可在如立式炉等间距不同片盒间高速搬运晶圆。

  • 非常适合PassLine较低、升降轴行程较长的设备
  • 通过采用底座圆柱型驱动机构实现了机械手臂±160度的旋转范围,提升了设备布局的灵活性
  • 可在5mm~10mm范围内任意调节手指间的距离

标准规格

(*1) 晶圆固定方式采用了下托式的粗定位方式,搬运速度也进行了相应的调整。
       另外还可选择真空吸附等其他的晶圆固定方式,相关规格等事宜敬请咨询我司。
机械手臂规格
机械手臂型号 MTCR4160L-700-AM
被搬运物 300mm硅片晶圆
晶圆吸附方式 下托式的粗定位方式
机械结构格式 圆柱坐标型 控制轴 4轴
电机类型 AC伺服电机
可动范围 (*1) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
710mm ±160度 700mm
搬运速度(平均)(*1) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
415mm/sec 135度/sec 350mm/sec
搬运速度(最大)(*1) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
830mm/sec 190度/sec 500mm/sec
精度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
6.55µm以下 0.00082度 4.89µm
搬运高度 676mm (最下层)
重复性精度 ±0.1mm
洁净度 ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源: AC200V 1相 ±10%
重量 机械手臂体:大约 180 kg
控制器规格
控制器型号 C5000S 系列
控制方式 串口RS232C或者并口光学I/O口
外观图(标准规格)
MTCR4160L-700-AM (5片间距可调手指规格)


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单臂
  • ...双臂
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註