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半导体搬运机械手臂

MTCR4160(胶膜框架搬运)4轴圆柱坐标洁净机械手臂

MTCR4160-300-AM(Tape frame handling)

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称MTCR4160
使用环境洁净间内的大气环境
手臂双臂
到达距离315 mm (手臂第3关节中心基准)
升降轴最大行程300 mm
可搬运重量5 kgf (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号升降轴最大行程
MTCR4160-300-AM300 mm
  • 照片和视频为 MTCR4160-300-AM(胶膜框架搬运)

产品特点

高精度搬运 Tape Frame
挟持 Tape Frame的根部,在片盒内部区域没有接触,可实现标准层间距 Tape Frame片盒各层的随机取放。
可对应包括300mm晶圆规格的各种 Tape Frame。
采用 MECHATROLINK-III,可以实时监控设备的运行状态

  • 机械手臂标准臂长:160 mm,200 mm,240 mm,280 mm
  • 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的交流伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 可以选配检测胶膜框架有无传感器
  • 可以选配 Shock Sensor 用于在检测到手臂发生碰撞后切断动力输出,缓和碰撞伤害

标准规格

(*)表示MTCR4160-300-AM(对应200~300 mm尺寸的胶膜框架)的典型规格
机械手臂规格
机械手臂型号 MTCR4160-300-AM
被搬运物 200 mm ~ 300 mm 晶圆 (对应200~300 mm尺寸的胶膜框架)
(可对应其他尺寸)
晶圆吸附方式 采用气缸驱动机构夹持框架外边缘
机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 4轴
电机类型 全轴采用AC伺服电机
可动范围 (*) 被搬送物体中心到达距离 旋转角度 (θ轴) 升降(Z轴)
585 mm 340 度 300 mm
搬运速度 (*) 手臂(R轴) 旋转角度 (θ轴) 升降(Z轴)
360 mm/sec 140 度/sec 180 mm/sec
精度 (*) 手臂(R轴) 旋转角度 (θ轴) 升降(Z轴)
10.0 µm 以下 0.0015 度 1.96 µm
重复性精度 ±0.1 mm
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源: AC200V±10% 3 kVA
(手指) 正压: 0.5 MPa 10 NL/min 以上
质量 机械手臂体 大约 50 kg
控制器规格
控制器型号 C5000S
通讯方式 串口RS232C或者并口光学I/O口
外观图(标准规格)
MTCR4160-300-AM (Tape frame handling)


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单臂
  • ...双臂
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註