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校准器

SAL30J1(450mm晶圆搬运)晶圆校准器

SAL30J1

产品视频

使用环境和规格/规格


产品概要

产品型号SAL30J1
使用环境洁净间内的大气环境
晶圆尺寸450mm
被搬运物硅片晶圆

产品特点

  • 能够对450mm硅晶圆的中心以及缺口进行高速,精确的定位
  • 使用可视光半导体激光传感器。电机控制器以及脉冲发生器都集成到设备本体内部
  • Spindle内部安装有可以过滤0.01微米颗粒的过滤装置
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 可以为客户定制兼容450mm和300mm晶圆的产品
  • 可以为客户定制带自调整功能(不需要机械手臂配合)的具有升降轴(Z轴)的定制产品

标准规格

被搬运物 450mm 硅片晶圆
位置确定所需时间 定位晶圆中心~槽口宽度:約3秒
位置精度 晶圆中心:±0.1mm以内
晶圆缺边(缺口):±0.1度以内
传感器 可视半导体激光传感器
洁净度 ISO Class2 (驱动结构内部独立排气条件下)
动力 3轴使用2相步进电机
电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部
厂务 电源:DC24V±10%  3A    真空:-53kPa以上(使用真空吸附式手指)
外观图
SAL30J1

产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註