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校准器

SAL3261GR(光学式校准器)晶圆校准器

SAL3241GR

产品视频

使用环境和规格/规格


产品概要

产品型号SAL3261GR
使用环境洁净间内的大气环境
晶圆尺寸2, 3寸, 100mm~150mm
被搬运物硅片晶圆, 特殊材质晶圆

产品特点

适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆位置的校准。

  • 高速,高精度地定位小尺寸晶圆(透明,半透明,硅片)的中心以及缺边
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 相对旧型号SAL46C6,SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
  • 也可对应客户对其他尺寸晶圆的需求

标准规格

被搬运物 2, 3寸, 100mm~150mm硅片以及透明晶圆
第一缺边
位置确定所需时间 定位晶圆缺口:3秒
位置精度 晶圆中心:±0.2mm以内
晶圆缺边:±0.2度以内
传感器 可视光半导体激光传感器
洁净度 ISO Class2 (驱动结构内部独立排气条件下)
动力 3轴使用2相步进电机
电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部
厂务 电源:DC24V±10% 3A   真空:优于-53kPa(使用真空吸附式手指)
外观图
SAL3261GR

产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註