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校准器

SAL46C6(光学式校准器)晶圆校准器

SAL46C6

使用环境和规格/规格


产品概要

产品型号SAL46C6
使用环境洁净间内的大气环境
晶圆尺寸150mm~300mm
被搬运物硅片晶圆
  • 照片为SAL46C6

产品特点

适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆位置的校准。

  • 可以实现硅片中心和缺口的高速,高精度的定位
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

标准规格

被搬运物 SEMI标准  150~300mm 硅片晶圆
位置确定所需时间 晶圆中心:3sec
位置精度 晶圆中心:±0.1mm以内
晶圆缺边(缺口):±0.1度以内
传感器 可视半导体激光传感器
晶圆尺寸切换 命令控制方式或者通信方式
洁净度 0.1µm/cf Class 1(驱动结构内部独立排气条件下)
动力 4轴使用2相步进电机
电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部
厂务 电源:DC24V±10% 4A  真空:优于-53kPa
外观图
SAL46C6


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註