要用搬送机械手,就选JEL

介绍搬运视频

2寸搬运系统

有利于搬运模块,真空传输腔室的小型化设计。业内最小尺寸设计,有利于设备的小型化。

  • TSCR3060N (2寸晶圆搬运大气机械手臂)
    相对我司标准大气机械手臂:占地面减小75%(方形115x130mm),体积减小80%
  • TSVCR3060N (2寸晶圆真空机械手臂)
    相对我司标准真空机械手臂:占地面减小65%(直径95mm),体积减小75%
  • SAL1021 (2寸晶圆大气校准器)
    相对我司标准大气校准器:占地面减小80%(方形85x100mm),体积减小80%


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