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半导体搬运机械手臂

MTCR4160L (5片间距可调手指规格)4轴圆柱坐标洁净机械手臂

MTCR4160L (with batch end-effector for 5 pieces of wafer)

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称	MTCR4160L
使用环境	洁净间内的大气环境
手臂	双臂
到达距离	710mm （被搬送物体中心到达距离）
升降轴最大行程	700mm

产品型号列表

型号名称		升降轴最大行程
MTCR4160L-700-AM		700mm

照片和视频为 MTCR4160L-700-AM (5片间距可调手指规格)

产品特点

可在如立式炉等间距不同片盒间高速搬运晶圆。

非常适合PassLine较低、升降轴行程较长的设备
通过采用底座圆柱型驱动机构实现了机械手臂±160度的旋转范围，提升了设备布局的灵活性
可在5mm～10mm范围内任意调节手指间的距离

标准规格

(*1) 晶圆固定方式采用了下托式的粗定位方式，搬运速度也进行了相应的调整。
另外还可选择真空吸附等其他的晶圆固定方式，相关规格等事宜敬请咨询我司。
机械手臂规格
机械手臂型号	MTCR4160L-700-AM
被搬运物	300mm硅片晶圆
晶圆吸附方式	下托式的粗定位方式
机械结构格式	圆柱坐标型	控制轴	4轴
电机类型	AC伺服电机
可动范围 (*1)	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
可动范围 (*1)	710mm	±160度	700mm
搬运速度（平均）(*1)	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（平均）(*1)	415mm/sec	135度/sec	350mm/sec
搬运速度（最大）(*1)	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（最大）(*1)	830mm/sec	190度/sec	500mm/sec
精度	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
精度	6.55µm以下	0.00082度	4.89µm
搬运高度	676mm (最下层)
重复性精度	±0.1mm
洁净度	ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下）
厂务	电源: AC200V 1相 ±10%
质量	机械手臂体：大约 180 kg
控制器规格
控制器型号	C5000S 系列
控制方式	串口RS232C或者并口光学I/O口

外观图（标准规格）

指南

...大气
...真空
...防水
...单臂
...双臂
...薄片晶圆
...CE標註
...JEL标准
...KCs標註