半导体搬运机械手臂
MTCR4160（胶膜框架搬运）4轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频
|
使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 | MTCR4160 |
|---|
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
|---|
| 手臂 | 双臂 |
|---|
| 到达距离 | 315 mm (手臂第3关节中心基准) |
|---|
| 升降轴最大行程 | 300 mm |
|---|
| 可搬运质量 | 5 kg (手臂第3关节处基准) |
|---|
产品型号列表
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
|---|
| MTCR4160-300-AM | 300 mm |
- 照片和视频为 MTCR4160-300-AM（胶膜框架搬运）
|
产品特点
高精度搬运 Tape Frame
挟持 Tape Frame的根部，在片盒内部区域没有接触，可实现标准层间距 Tape Frame片盒各层的随机取放。
可对应包括300mm晶圆规格的各种 Tape Frame。
采用 MECHATROLINK-III，可以实时监控设备的运行状态
- 机械手臂标准臂长：160 mm，200 mm，240 mm，280 mm
- 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的交流伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 可以选配检测胶膜框架有无传感器
- 可以选配 Shock Sensor 用于在检测到手臂发生碰撞后切断动力输出，缓和碰撞伤害
标准规格
(*)表示MTCR4160-300-AM（对应200～300 mm尺寸的胶膜框架）的典型规格
| 机械手臂型号 |
MTCR4160-300-AM |
| 被搬运物 |
200 mm ～ 300 mm 晶圆 (对应200～300 mm尺寸的胶膜框架)
(可对应其他尺寸) |
| 晶圆吸附方式 |
采用气缸驱动机构夹持框架外边缘 |
| 机械结构格式 |
圆柱坐标 |
控制轴 |
4轴 |
| 电机类型 |
全轴采用AC伺服电机 |
| 可动范围 (*) |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度 (θ轴) |
升降(Z轴) |
| 585 mm |
340 度 |
300 mm |
| 搬运速度 (*) |
手臂(R轴) |
旋转角度 (θ轴) |
升降(Z轴) |
| 360 mm/sec |
140 度/sec |
180 mm/sec |
| 精度 (*) |
手臂(R轴) |
旋转角度 (θ轴) |
升降(Z轴) |
| 10.0 µm 以下 |
0.0015 度 |
1.96 µm |
| 重复性精度 |
±0.1 mm |
| 洁净度 |
ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) |
| 厂务 |
电源: AC200V±10% 3 kVA
(手指) 正压: 0.5 MPa 10 NL/min 以上 |
| 质量 |
机械手臂体 大约 50 kg |
| 控制器型号 |
C5000S |
| 通讯方式 |
串口RS232C或者并口光学I/O口 |
产品一览
