要用搬送机械手,就选JEL



校准器

SAL2241晶圆校准器

SAL2241

产品视频

使用环境和规格/规格


产品概要

产品型号SAL2241
使用环境洁净间内的大气环境
晶圆尺寸2, 3寸, 100mm
被搬运物硅片晶圆

产品特点

适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆位置的校准。

  • 对应小尺寸晶圆,拥有较小的空间尺寸。
  • 高速,高精度地定位小尺寸半导体硅片的中心以及缺边,缺口
  • Spindle内部安装有可以过滤0.1微米颗粒的过滤装置
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 也可对应客户对其他尺寸晶圆的需求

标准规格

被搬运物 2, 3寸, 100mm硅片晶圆
位置确定所需时间 晶圆中心 6sec
位置精度 晶圆中心:±0.3mm以内
晶圆缺边:±0.3度以内
传感器 限定距离式反射光纤传感器
晶圆尺寸切换 命令控制方式或者通信方式
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
动力 2轴使用2相步进电机
电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部
厂务 电源:DC24V±10% 2A  正压:0.15~0.5MPa  真空:-70kPa以上
外观图
SAL2241


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註