校准器
SAL3261GR（光学式校准器）晶圆校准器
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
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产品特点
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。
- 高速，高精度地定位小尺寸晶圆（透明，半透明，硅片）的中心以及缺边
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
- 也可对应客户对其他尺寸晶圆的需求
标准规格
| 被搬运物 | 2, 3寸, 100mm～150mm硅片以及透明晶圆 第一缺边 |
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| 位置确定所需时间 | 定位晶圆缺口：3秒 |
| 位置精度 | 晶圆中心：±0.2mm以内 晶圆缺边：±0.2度以内 |
| 传感器 | 可视光半导体激光传感器 |
| 洁净度 | ISO Class2 (驱动结构内部独立排气条件下) |
| 动力 | 3轴使用2相步进电机 电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部 |
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 3A 真空：优于-53kPa(使用真空吸附式手指) |
| 外观图 |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註