伯努利吸笔
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
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产品特点
利用伯努利原理能够吸附减薄晶圆轻盈，小巧, 由于不属于真空吸附，能够降低晶圆破损的风险至最低。
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吸笔前端能够自由活动不但能够应对水平摆放的晶圆，还能够从晶圆片盒，晶圆Cassette中取放晶圆片。
同时还可以用于晶圆之外的各种物体的搬运。
- 利用旋风效应吸附晶圆,吸盘不需要和晶圆完全接触
- 和被吸附物接触的吸盘垫片（材质：氟橡胶）能够缓冲吸附过程中的冲击力，并且不需要夹持被吸附物的边缘。
- 前端吸盘模块和本体之间使用了可调节的软管结构，作业员能够任意地调节吸盘和本体之间的相对角度。
标准规格
| 被搬运物 | 2, 3寸, 100～150mm 可为客户定制适用于200mm，300mm晶圆的产品 |
|---|---|
| 材质 | 铝合金（前端） |
| 表面处理 | 旋风吸盘：黑色阳极氧化处理 前端其他部分：白色阳极氧化处理 |
| 晶圆吸附方式 |
利用旋风吸盘提供吸力并利用氟橡胶材 质的垫片保持晶圆和吸盘之间的相对位置 |
| 允许搬运质量 | 50g以下 |
| 使用气体 | 洁净空气，N2 |
| 供给压力 | 0.3MPa以下（吸笔本体的入口处） |
| 气体流量 | 最大15L/min |
| 质量 | 110g |
- 开关部分的相对滑动部件之间没有使用润滑油
- 旋风吸盘 标配数量：1个
- 垫片（材质：氟橡胶）通过和晶圆接触起到了保持晶圆和吸盘之间相对位置的作用
- 连接件 120度类型（默认出厂状态), 90度类型（附件）
※有关产品规格的其他细节请咨询我司销售
压力-吸力关系图
软管可动范围
指南
- ...大气
- ...真空
- ...防水
- ...单臂
- ...双臂
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註