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半导体搬运机械手臂

GTCR5280(300mm晶圆搬运)5轴水平多关节型洁净机械手臂

GTCR5280-300-AM

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称GTCR5280
使用环境洁净间内的大气环境
手臂单臂
到达距离553mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程300mm
可搬运质量4.0kg (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号升降轴最大行程
标准GTCR5280-300-AM300mm
  • 视频展示产品为GTCR5280-300-AM

产品特点

可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。
适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运。

  • 机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm
  • 机械手臂可以单独对应2个FOUP(210mm臂长)
    或者3个FOUP(280mm臂长)
  • 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • 通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化
    能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

标准规格

上述规格为本司使用标准真空吸附方式手指情况下的标准机械手臂规格的一个示例
机械手臂规格
机械手臂型号 GTCR5280-300-AM
被搬运物 ~300mm晶圆
晶圆吸附方式 真空吸附式
机械结构格式 水平多关节 控制轴 5軸
电机类型 全轴采用AC伺服电机
可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
953mm 335度 300mm
搬运速度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
833mm/sec 250度/sec 300mm/sec
重复性精度 ±0.2mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相 AC200V±10% 2kVA   真空:优于-53kPa(使用真空吸附式手指)
质量 机械手臂体 大约50kg
控制器规格
控制器型号 C5000S
控制通讯方式 RS232C及并口I/O方式
外观图(标准规格)
GTCR5280-300-AM

产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註