半导体搬运机械手臂
GTVCR53305轴真空水平多关节型洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列。
实现了下降价格，但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能，功能。
能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。
通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积。
非常适合inline设备。
- 机械手臂标准臂长：280mm, 330mm
- 手臂关节处使用磁流体密封装置
- 真空密封：磁流体密封装置以及波纹管
- 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
- 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
- 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | |||
|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | GTVCR5330-060-AM | ||
| 被搬运物 | ～300mm晶圆 | ||
| 机械结构格式 | 水平多关节型 | 控制轴 | 5轴 |
| 电机类型 | 全轴采用AC伺服电机 | ||
| 可动范围 | 手臂第3关节中心基准 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 635mm | 360度 | 60mm | |
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 640mm/sec | 160度/sec | 60mm/sec | |
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) |
| 950mm/sec | 200度/sec | 85mm/sec | |
| 精度 | 第1关节轴（J1轴） 第2关节轴（J2轴） |
第3关节轴（J3轴） 第3关节轴（J5轴） |
Z轴（J4轴） |
| 0.00081度 0.00081度 |
0.00072度 0.00072度 |
0.98µm | |
| 搬运高度 | 219mm (底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度) | ||
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | ||
| 洁净度 | 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置 | ||
| 耐真空度 | 1×10-6Pa | ||
| 厂务 | 电源: 単相AC200～230V 2kVA 50/60Hz | ||
| 控制器规格 | |||
| 控制器型号 | C5000S系列 | ||
| 控制方式 | 串口RS232C或者并口光学I/O口 | ||
| 外观图（标准规格） |
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指南
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