半导体搬运机械手臂
JCR4400 (带有对应PLP自动校准功能的机械手臂)
产品视频
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使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 |
JCR4400 |
| 使用环境 |
洁净间内的大气环境 |
| 手臂 |
单臂 |
| 到达距离 |
1290 mm (被搬送物体中心到达距离) |
| 升降轴最大行程 |
400 mm |
| 可搬运质量 |
10 kg (手臂第3关节处基准) |
产品型号列表
| 产品型号 |
升降轴最大行程 |
| JCR4400-400-AM |
400 mm |
- 视频展示产品为 JCR4400（带有对应PLP自动校准功能的机械手臂)
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产品特点
带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂
- 适用于并列配置工位的传送
- 非接触校准功能可实现高精度的搬运
- 可搬运重量10kg
标准规格
测试机型：JCR4400-400-AM (带有对应PLP自动校准功能的机械手臂)
| 机械手臂型号 |
JCR4400-400-AM |
| 被搬运物 |
基板 500 mm x 500 mm |
| 晶圆吸附方式 |
真空吸附式 |
| 机械结构格式 |
水平多关节 |
控制轴 |
4轴 |
| 电机类型 |
AC伺服电机 |
| 可动范围 |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1290 mm |
330 度 |
400 mm |
| 搬运速度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1170 mm/1.6 sec |
330 度/1.5 sec |
400 mm/1.4 sec |
| 精度 |
第1关节轴 (J1轴) |
第2关节轴 (J2轴) |
第3关节轴 (J3轴) |
| 3.5x10-3 度 |
1.8x10-3 度 |
1.8x10-3 度 |
| 第4关节轴 (J4轴) |
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| 2.4x10-3 度 |
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| 重复性精度 |
±0.2 mm以内 |
| 洁净度 |
机械手臂体: 0.3 µm/cf Class 10 (驱动结构内部独立排气条件下) |
| 厂务 |
电源：単相 AC200V±10% 4 kVA 真空：优于-53kPa
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| 质量 |
机械手臂体 大约120 kg |
| 控制器型号 |
C5000S系列 |
| 控制通讯方式 |
RS232C及并口I/O方式 |
产品一览
