半导体搬运机械手臂
JCR4400 (基板校准模块的机械手臂)
产品视频
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使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 | JCR4400 |
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| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
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| 手臂 | 单臂 |
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| 到达距离 | 1290 mm (被搬送物体中心到达距离) |
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| 升降轴最大行程 | 320 mm |
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| 可搬运质量 | 15 kg (手臂第3关节处基准) |
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产品型号列表
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
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| JCR4400-320-AM | 320 mm
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- 视频展示产品为 JCR4400（基板校准模块的机械手臂)
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产品特点
能够高精度搬运Mask和Molded基板（FOPLP）的四轴水平多关节型洁净机械手臂（FOPLP=Fan-Out Panel Level Package工艺）。
可在手指上 同时对基板的Y方向和X方向进行校准，完成基板的中心校准功能。
不再需要另行设置基板的中心校准机构，提高系统的传片效率。
水平多关节机械手臂，不需要另外配置走形轴就可以对应基板偏移摆放布局。
Molded方形基板可以在机械手臂的手指上完成校准，实现高精度传片功能。
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
标准规格
测试机型：JCR4400-320-AM (基板校准模块的机械手臂)
| 机械手臂型号 |
JCR4400-320-AM |
| 被搬运物 |
基板 500 mm x 517 mm（5 kg） |
| 晶圆吸附方式 |
真空吸附式 |
| 机械结构格式 |
水平多关节 |
控制轴 |
4轴 |
| 电机类型 |
AC伺服电机 |
| 可动范围 |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1290 mm |
335度 |
320 mm |
| 搬运速度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1140 mm/1.6 sec |
335 度/1.5 sec |
320 mm/1.1 sec |
| 精度 |
第1关节轴 (J1轴) |
第2关节轴 (J2轴) |
第3关节轴 (J3轴) |
| 3.15x10-7 度 |
1.78x10-7 度 |
2.14x10-7 度 |
| 第4关节轴 (J4轴) |
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| 3.97x10-7 度 |
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| 重复性精度 |
±0.2 mm以内 |
| 洁净度 |
机械手臂体: 0.3 µm/cf Class 10 (驱动结构内部独立排气条件下) |
| 厂务 |
电源：単相 AC200V±10% 4.5 kVA 真空：优于-53kPa |
| 质量 |
机械手臂体 大约80 kg |
| 控制器型号 |
C5000S系列 |
| 控制通讯方式 |
RS232C及并口I/O方式 |
产品一览
