半导体搬运机械手臂
JVCR4330 (Micro LED用真空水平多关节机械手臂)
产品视频
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使用环境和规格/规格
产品概要
型号名称 |
JVCR4330 |
使用环境 |
洁净间内的大气环境 |
手臂 |
单臂 |
到达距离 |
1290 mm (被搬送物体中心到达距离) |
升降轴最大行程 |
60 mm |
可搬运质量 |
10 kg |
产品型号列表
产品型号 |
升降轴最大行程 |
JVCR4330-060-AM |
60 mm |
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产品特点
Micro LED用4轴真空水平多关节洁净机械手臂
标准规格
测试机型:JVCR4330-060-AM
机械手臂型号 |
JVCR4330-060-AM |
被搬运物 |
700 mm 适合基座 (10 kg) |
晶圆吸附方式 |
利用O型胶圈的摩擦力来保持位置 |
机械结构格式 |
水平多关节 |
控制轴 |
4轴 |
电机类型 |
AC伺服电机 |
可动范围 |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
1290 mm |
360度 |
60 mm |
搬运速度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
640 mm/4.0 sec |
360 度/5.0 sec |
60 mm/2.0 sec |
精度 |
第1关节轴 (J1轴) |
第2关节轴 (J2轴) |
第3关节轴 (J3轴) |
8.1x10-4 度 |
8.1x10-4 度 |
7.2x10-4 度 |
第4关节轴 (J4轴) |
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0.98 µm |
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重复性精度 |
±0.1 mm以内 |
洁净度 |
机械手臂体: 0.1 µm/cf Class 1 |
厂务 |
电源:単相 AC200V±10% 4.0 kVA |
质量 |
机械手臂体 大约90 kg |
控制器型号 |
C5000S系列 |
控制通讯方式 |
RS232C及并口I/O方式 |
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