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半导体搬运机械手臂

JVCR4330 (Micro LED用真空水平多关节机械手臂)

JVCR4330 (Micro LED用真空水平多关节机械手臂)

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称 JVCR4330
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 单臂
到达距离 1290 mm (被搬送物体中心到达距离)
升降轴最大行程 60 mm
可搬运质量 10 kg

产品型号列表

产品型号 升降轴最大行程
JVCR4330-060-AM 60 mm
  • 视频展示产品为 JVCR4330-060-AM

产品特点

Micro LED用4轴真空水平多关节洁净机械手臂

  • 可对应平行配置的布局
  • 可对应搬运重量10kg

标准规格

测试机型:JVCR4330-060-AM
机械手臂规格
机械手臂型号 JVCR4330-060-AM
被搬运物 700 mm 适合基座 (10 kg)
晶圆吸附方式 利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
机械结构格式 水平多关节 控制轴 4轴
电机类型 AC伺服电机
可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
1290 mm 360度 60 mm
搬运速度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
640 mm/4.0 sec 360 度/5.0 sec 60 mm/2.0 sec
精度 第1关节轴 (J1轴) 第2关节轴 (J2轴) 第3关节轴 (J3轴)
8.1x10-4 8.1x10-4 7.2x10-4
第4关节轴 (J4轴)  
0.98 µm  
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 机械手臂体: 0.1 µm/cf Class 1
厂务 电源:単相 AC200V±10% 4.0 kVA
质量 机械手臂体 大约90 kg
控制器规格
控制器型号 C5000S系列
控制通讯方式 RS232C及并口I/O方式
外观图(标准规格)
JVCR4330-060-AM


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註