玻璃基板搬运机械手臂
LVHR3440S (玻璃基板)3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
|
使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 | LVHR3440S |
|---|
| 使用环境 | 洁净间内的大气：温度 15°C-40°C |
|---|
| 工艺室温度 15°C-50°C 以下 |
| 手臂 | 单臂 |
|---|
| 到达距离 | 880mm (手臂第3关节中心基准) |
|---|
| 升降轴最大行程 | 20mm/ 32mm/ 40mm/ 60mm/ 320mm |
|---|
| 可搬运质量 | 10kg以下 (手臂第3关节处基准) |
|---|
产品型号列表
| 型号名称 | 升降轴最大行程 |
|---|
| LVHR3440S-020-SM | 20mm |
| LVHR3440S-032-SM | 32mm |
| LVHR3440S-040-SM | 40mm |
| LVHR3440S-060-SM | 60mm |
| LVHR3440S-320-SM | 320mm |
|
产品特点
对应玻璃基板搬运的3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂LVHR3000系列。
适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运。
- 机械手臂标准臂长: 330mm, 440mm, 500mm, 550mm
- 可搬运质量:手臂第3关节处基准10kg以下
- 手臂关节处使用磁流体密封装置
- 真空密封：磁流体密封装置和波纹管
- 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
*测试机型：LVHR3440S-040-SM的标准型号
被搬运物体，以及手指形状的不同上述测量结果会不同
| 机械手臂型号 |
LVHR3440S-040-SM |
| 被搬运物 |
730×920×1.1mm 玻璃基板（具有代表性的标准尺寸） |
| 机械结构格式 |
圆柱坐标 |
控制轴 |
3轴 |
| 电机类型 |
全轴采用AC伺服电机 |
| 可动范围 |
手臂第3关节中心基准 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 880mm |
±182度 |
40mm |
| 搬送速度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1320mm/2.7sec |
180度/1.8sec |
40mm/2.0sec |
| 精度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 13.5µm以下 |
0.00097度 |
0.61µm以下 |
| 搬运高度 |
168.5mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度) |
| 重复性精度 |
±0.2mm以内 |
| 洁净度 |
真空密封：磁流体密封装置和波纹管 |
| 耐真空度 |
1.33×10-6Pa |
| 厂务 |
电源：単相 AC200V±10% 2kVA
|
| 控制器型号 |
C5000S系列 |
| 控制通讯方式 |
控制方式：串口RS232C或者并口光学I/O口 |
产品一览
