要用搬送机械手,就选JEL



半导体搬运机械手臂

SCR3160CS3轴圆柱坐标洁净机械手臂

SCR3160CS

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称SCR3160CS
使用环境洁净间内的大气环境
手臂单臂
到达距离340mm (手臂第3关节中心)
升降轴最大行程200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬运质量3kg (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号升降轴最大行程
SCR3160CS-200-PM200mm
SCR3160CS-300-PM300mm
SCR3160CS-400-PM400mm
SCR3160CS-450-PM450mm
SCR3160CS-500-PM500mm
SCR3160CS-550-PM550mm
SCR3160CS-600-PM600mm
  • 视频展示产品为SCR3160CS-300-PM

产品特点

超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列。
适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运。

  • 机械手臂标准臂长: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

标准规格

上述规格为本司使用标准真空吸附方式手指情况下的标准机械手臂规格的一个示例
机械手臂规格
机械手臂型号 SCR3160CS-300-PM
腕部机构模块 SARS00169 手指 SC-YW-240
被搬运物 ~300mm晶圆
晶圆吸附方式 真空吸附式
机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴
电机类型 步进电机
可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
502.7mm 340度 300mm
搬运速度(平均) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
610mm/sec 340度/sec 250mm/sec
搬运速度(最大) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
1220mm/sec 500度/sec 320mm/sec
重复性精度 ±0.1mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:DC24V±10% 15A   真空:优于-53kPa以上
质量 机械手臂体 大约25kg
控制器规格
控制器型号 C4000
控制通讯方式 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
外观图(标准规格)
SCR3160CS-300-PM


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註