半导体搬运机械手臂
SSCR3090S（小径晶圆用）3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
产品型号列表
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产品特点
超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于实现设备的小型化。
- 机械手臂标准臂长：90mm
- 同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴使用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
标准规格
| 机械手臂规格 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 机械手臂型号 | SSCR3090S-PM | |||
| 被搬运物 | ～100mm晶圆 | |||
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附式 | |||
| 机械结构格式 | 圆柱坐标型 | 控制轴 | 3軸 | |
| 电机类型 | 全轴采用步进电机 | |||
| 可动范围 | 被搬送物体中心到达距离 | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 300mm(连杆式手臂) | 370度 | 150mm | ||
| 搬运速度（平均） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 220mm/sec | 180度/sec | 120mm/sec | ||
| 搬运速度（最大） | 手臂(R轴) | 旋转角度(θ轴) | 升降(Z轴) | |
| 330mm/sec | 280度/sec | 160mm/sec | ||
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 | |||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | |||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 4A 真空：优于-53kPa | |||
| 控制器规格 | ||||
| 控制器型号 | C4301系列 | |||
| 控制通讯方式 | 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 | |||
| 外观图（标准规格） |
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指南
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