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系统

SSY-10000 (100mm晶圆桌面系统)晶圆搬运的系统

SSY-10000

产品视频

使用环境和规格/规格


产品概要

产品型号SSY-10000
使用环境洁净间内的大气环境
到达距离225mm (被搬运物体中心到达距离)
晶圆尺寸~100mm
被搬运物玻璃, 蓝宝石, SiC, GaN晶圆等
关于产品规格,欢迎垂询
可搬运质量0.1kg(只包含被搬运物体)
  • 照片和视频展示产品为 SSY-10000(100mm晶圆桌面系统)

特点

适用于2,3寸,100mm玻璃,蓝宝石,SiC,GaN等种类晶圆的桌面装卸载系统

  • 实现了晶圆检测台和搬运模块一体化的小型桌面系统
  • X轴190mm,Y轴200mm的长行程设计,通过手柄可以在XY平台的任意位置旋转晶圆
  • 机械手臂采用了双手指结构,能够有效地缩短检测台上的晶圆的更换时间
  • 机械手臂和下沉式校准台的组合,具有性价比高,设备占用空间小,以及高性能的特点

规格

被搬运物 ~100mm晶圆 (玻璃, 蓝宝石, SiC, GaN晶圆等)
可动范围 被搬运物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
225mm 360度 150mm
搬运速度
(平均速度)
手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
225mm/sec 500度/sec 200mm/sec
搬运速度
(最大)
手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
300mm/sec 700度/sec 300mm/sec
晶圆吸附方式 真空吸附式
重复性精度 ±0.1mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下)
质量 机械手臂体 大约15kg
厂务 电源:AC100V±10% 0.2kVA   真空:优于-53kPa
外观图
SSY-10000

产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单臂
  • ...双臂
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註