系统
SSY-10000 (100mm晶圆桌面系统)晶圆搬运的系统
产品视频
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使用环境和规格/规格
产品概要
产品型号 | SSY-10000 |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
到达距离 | 225mm (被搬运物体中心到达距离) |
晶圆尺寸 | ~100mm |
被搬运物 | 玻璃, 蓝宝石, SiC, GaN晶圆等 |
关于产品规格,欢迎垂询 |
可搬运质量 | 0.1kg(只包含被搬运物体) |
- 照片和视频展示产品为 SSY-10000(100mm晶圆桌面系统)
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特点
适用于2,3寸,100mm玻璃,蓝宝石,SiC,GaN等种类晶圆的桌面装卸载系统
- 实现了晶圆检测台和搬运模块一体化的小型桌面系统
- X轴190mm,Y轴200mm的长行程设计,通过手柄可以在XY平台的任意位置旋转晶圆
- 机械手臂采用了双手指结构,能够有效地缩短检测台上的晶圆的更换时间
- 机械手臂和下沉式校准台的组合,具有性价比高,设备占用空间小,以及高性能的特点
规格
被搬运物 |
~100mm晶圆 (玻璃, 蓝宝石, SiC, GaN晶圆等)
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可动范围 |
被搬运物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
225mm |
360度 |
150mm |
搬运速度 (平均速度) |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
225mm/sec |
500度/sec |
200mm/sec |
搬运速度 (最大) |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
300mm/sec |
700度/sec |
300mm/sec |
晶圆吸附方式 |
真空吸附式 |
重复性精度 |
±0.1mm以内 |
洁净度 |
ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下) |
质量 |
机械手臂体 大约15kg |
厂务 |
电源:AC100V±10% 0.2kVA 真空:优于-53kPa |
产品一览