系统
SSY-11010（储片盒内晶圆的自动搬运系统）搬送的系统
产品视频
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使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 | SSY-11010 |
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| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
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| 可对应片盒的种类 | 200 mm 储片盒,
200 mm 片盒 |
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| 晶圆尺寸 | 200 mm |
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| 被搬运物 | 硅片晶圆, 片间垫片 |
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我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
可对应多家厂商规格的储片盒。更多信息请咨询弊司。 |
- 照片和视频为 SSY-11010(*)
(*) 本系统的详细内容请观看介 绍搬运视频 。
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产品特点
能够高精度完成搬运储片盒，晶圆盒内的减薄晶圆的自动搬运。
搭载储片盒自动开盖机构（已申请专利）
- 自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
- 一台设备可以完成打包和拆包的功能
- 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
- 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
- 可自动识别晶圆高度
- 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
- 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
- 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
- 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)
标准规格
我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
| 被搬运物 |
200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片) |
| 可对应片盒的种类 |
200 mm 储片盒, 200 mm 片盒 |
| 洁净度 |
ISO标准 Class 2 |
| 外形尺寸 |
1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高) |
| 厂务 |
电源：AC200V±10% 洁净气源：0.5 MPa 150 NL/min 以上 |
| 质量 |
700 kg |
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