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半导体搬运机械手臂

STCR4160S4轴圆柱坐标洁净机械手臂

STCR4160S

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称	STCR4160S
使用环境	洁净间内的大气环境
手臂	双臂
到达距离	315mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程	200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬运质量	3kg (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号		升降轴最大行程
STCR4160S-200-PM		200mm
STCR4160S-300-PM		300mm
STCR4160S-400-PM		400mm
STCR4160S-450-PM		450mm
STCR4160S-500-PM		500mm
STCR4160S-550-PM		550mm
STCR4160S-600-PM		600mm

视频展示产品为STCR4160S-300-PM

产品特点

超洁净无尘间用4轴圆柱坐标型洁净机械手臂STCR4000S系列。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运，双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间。

机械手臂标准臂长：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指

标准规格

上述规格为本司使用标准真空吸附方式手指情况下的标准机械手臂规格的一个示例
机械手臂规格
机械手臂型号	STCR4160S-300-PM
腕部机构模块	SART08674	手指	SC-YW-240
被搬运物	～300mm晶圆
晶圆吸附方式	真空吸附式
机械结构格式	圆柱坐标	控制轴	4轴
电机类型	步进电机
可动范围	被搬送物体中心到达距离	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
可动范围	575mm	340度	300mm
搬运速度（平均）	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（平均）	570mm/sec	220度/sec	200mm/sec
搬运速度（最大）	手臂(R轴)	旋转角度(θ轴)	升降(Z轴)
搬运速度（最大）	1140mm/sec	270度/sec	250mm/sec
重复性精度	±0.1mm以内
洁净度	ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务	电源：DC24V±10% 16A 真空：优于-53kPa
质量	机械手臂体大约30kg
控制器规格
控制器型号	C4000
控制通讯方式	控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

外观图（标准规格）
*The outline drawing above does not have the mapping function.

Outline Drawing (w/o mapping function)

Outline Drawing (w/mapping function)

指南

...大气
...真空
...防水
...单手指
...双手指
...薄片晶圆
...CE標註
...JEL标准
...KCs標註