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半导体搬运机械手臂

STWCR4160 (防水式)4轴圆柱坐标洁净机械手臂

STWCR4160-300-PM

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称STWCR4160
使用环境洁净间内的大气环境
手臂双臂
到达距离315 mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程300 mm
可搬运质量3 kg以下 (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

产品型号升降轴最大行程
STWCR4160-300-PM300 mm
  • 照片为 STWCR4160-300-PM

产品特点

防水4轴圆柱坐标型机械手臂STWCR4000系列(配备300 mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构)。
能够在酸性,碱性雾气环境下搬运半导体晶圆。

  • 机械手臂标准臂长:160 mm、200 mm
  • 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
  • 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
  • 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
  • Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
  • 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式
  • 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指

标准规格

测试机型:STWCR4160-300-PM,使用边缘加持式手指
机械手臂规格
机械手臂型号 STWCR4160-300-PM
被搬运物 ~300 mm晶圆
晶圆吸附方式 真空吸附式
机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 4轴
电机类型 2相步进电机
可动范围 手臂第3关节中心 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
315 mm 340度 300 mm
搬运速度(平均) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
280 mm/sec 90度/sec 90 mm/sec
搬运速度(最大) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
550 mm/sec 120度/sec 120 mm/sec
精度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
126 µm以下 0.0045度 6.25 µm以下
重复性精度 ±0.2 mm以内
厂务 电源:DC24V±10% 11A   正压:0.15 MPa
控制器规格
控制器型号 C4000系列
控制通讯方式 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註