半导体搬运机械手臂
STWCR4160 (防水式)4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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使用环境和规格/规格
产品概要
型号名称 | STWCR4160 |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 双臂 |
到达距离 | 315 mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴最大行程 | 300 mm |
可搬运质量 | 3 kg以下 (手臂第3关节处基准) |
产品型号列表
产品型号 | 升降轴最大行程 |
STWCR4160-300-PM | 300 mm |
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产品特点
防水4轴圆柱坐标型机械手臂STWCR4000系列(配备300 mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构)。
能够在酸性,碱性雾气环境下搬运半导体晶圆。
- 机械手臂标准臂长:160 mm、200 mm
- 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
- 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
- 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
- Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
- 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式
- 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指
标准规格
测试机型:STWCR4160-300-PM,使用边缘加持式手指
机械手臂型号 |
STWCR4160-300-PM |
被搬运物 |
~300 mm晶圆 |
晶圆吸附方式 |
真空吸附式 |
机械结构格式 |
圆柱坐标 |
控制轴 |
4轴 |
电机类型 |
2相步进电机 |
可动范围 |
手臂第3关节中心 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
315 mm |
340度 |
300 mm |
搬运速度(平均) |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
280 mm/sec |
90度/sec |
90 mm/sec |
搬运速度(最大) |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
550 mm/sec |
120度/sec |
120 mm/sec |
精度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
126 µm以下 |
0.0045度 |
6.25 µm以下 |
重复性精度 |
±0.2 mm以内 |
厂务 |
电源:DC24V±10% 11A 正压:0.15 MPa |
控制器型号 |
C4000系列 |
控制通讯方式 |
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式 |
产品一览