校准器
SVAL3001（真空校准器）晶圆校准器
产品视频 |
使用环境和规格/规格产品概要
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产品特点
能够在真空环境下通过边缘夹持方式对托盘（化合物半导体，硅片晶圆等）进行高速，高精度的定位。
- 可搬运质量：4kg
- 真空环境下的传感器和本体的一体化设计，具有集成度高，易于安装的优点（需要在大气环境下另行设置JEL标准控制器）
- 真空密封：磁流体密封装置和波纹管
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 自动定位功能能够根据托盘中的晶圆摆放情况 自动生成所有晶圆的位置数据
标准规格
| 被搬运物 | SEMI标准 硅片晶圆 100mm～300mm, 适合基座 |
|---|---|
| 位置确定所需时间 | 定位晶圆缺口:4秒以内 (不实行从新夹持动作) |
| 位置精度 | 晶圆中心：±0.3mm以内 槽口定位：±0.3度以内 |
| 传感器 | 耐真空限定距离式反射传感器 |
| 耐真空度 | 1.33x10-6Pa |
| 动力 | 3轴使用2相步进电机 控制器外置（没有集成到本体内部） |
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 8A |
| 外观图 |
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指南
- ...大气
- ...真空
- ...薄片晶圆
- ...CE標註
- ...JEL标准
- ...KCs標註