半导体搬运机械手臂
SVCR32603轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频
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使用环境和规格/规格
产品概要
型号名称 | SVCR3260 |
使用环境 | 真空部:温度 15℃~50℃ |
驱动结构内部:洁净间内的大气环境 温度 15℃~40℃ |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 520mm (第3関節中心距離) |
升降轴最大行程 | 20mm / 40mm |
可搬运质量 | 2kg (第3関節換算) |
产品型号列表
产品型号 | 升降轴最大行程 |
SVCR3260-020-PM | 20mm |
SVCR3260-040-PM | 40mm |
- 照片和视频展示产品为SVCR3260-040-PM
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产品特点
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运。
相比SVHR系列机械手臂,可搬运质量提升2倍,具有较好的性价比优势。
另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性,方便客户对设备进行升级改造。
- 机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm
- 手臂关节处使用磁流体密封装置
- 真空密封:磁流体密封装置和波纹管
- 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
- 可以选配2相步进电机规格
- 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
- 晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式
- 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指
标准规格
测试机型:SVCR3260-040-PM (步进电机) 中的具有代表性的标准品被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同。
机械手臂型号 |
SVCR3260-040-PM |
被搬运物 |
~300mm晶圆 |
晶圆吸附方式 |
下托式/ 利用晶圆自重的边缘夹持式 |
机械结构格式 |
圆柱坐标 |
控制轴 |
3轴 |
电机类型 |
全轴采用2相步进电机 |
可动范围 |
手臂第3关节中心 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
520mm |
330度 |
40mm |
搬运速度(平均) |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
300mm/sec |
120度/sec |
20mm/sec |
搬运速度(最大) |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
550mm/sec |
170度/sec |
30mm/sec |
精度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
82µm以下 |
0.009度 |
1.25µm |
搬运高度 |
98mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度) |
重复性精度 |
±0.1mm以内 |
洁净度 |
真空密封:磁流体密封装置和波纹管 |
耐真空度 |
1.33×10-6Pa |
厂务 |
电源:DC24V±10% 8A |
控制器型号 |
C4000 |
控制通讯方式 |
RS232C及并口I/O方式 |
产品一览