半导体搬运机械手臂
SVCR3330S（适合基座，托盘传输）3轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品视频
|
使用环境和规格/规格
产品概要
| 型号名称 | SVCR3330S |
|---|
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境真空 |
|---|
| 手臂 | 单臂 |
|---|
| 到达距离 | 640mm (手臂第3关节中心到达距离) |
|---|
| 升降轴最大行程 | 60mm |
|---|
| 可搬运质量 | 10kg以下 (手臂第3关节处基准) |
|---|
产品型号列表
| 产品型号 | 升降轴最大行程 |
|---|
| SVCR3330S-060-PM | 60mm |
- 照片和视频展示产品为SVCR3330S-060-PM
|
产品特点
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列。
双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘。
相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势。
- 手臂关节处使用磁流体密封装置
- 真空密封：磁流体密封装置和波纹管
- 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 可以选配2相步进电机规格
- 手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
- 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
标准规格
测试机型：SVCR3330S-060-PM（步进电机规格）中具有代表性的标准品。被搬运物体，以及手指形状的不同上述测量结果会不同。
| 机械手臂型号 |
SVCR3330S-060-PM |
| 被搬运物 |
342mm托盘x2片（具有代表性的尺寸） |
| 晶圆吸附方式 |
下托式/ 利用晶圆自重的边缘夹持式 |
| 机械结构格式 |
圆柱坐标 |
控制轴 |
3轴 |
| 电机类型 |
全轴采用2相步进电机 |
| 可动范围 |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 1075mm |
330度 |
60mm |
| 搬运速度（平均） |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 250mm/sec |
90度/sec |
30mm/sec |
| 搬运速度（最大） |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 380mm/sec |
135度/sec |
45mm/sec |
| 精度 |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
| 65µm以下 |
0.0056度 |
2.777µm |
| 重复性精度 |
±0.2mm以内 |
| 搬运高度 |
188.5mm（法兰安装面到手指安装面的高度） |
| 洁净度 |
真空密封：磁流体密封装置和波纹管 |
| 耐真空度 |
1.33×10-6Pa |
| 厂务 |
電源：DC24V±10% 11A |
| 控制器型号 |
C4000 |
| 控制通讯方式 |
RS232C及并口I/O方式 |
产品一览
