要用搬送机械手,就选JEL

介绍在SEMICON JAPAN 2021展出的产品视频

请参观SEMICON JAPAN 2021 HYBRID上JEL的展机
关于展机或我司产品的详细内容请随时咨询

新产品

对应φ300 mm GTFR

适用于EFEM的晶片搬运。
与我司以往产品的GTCR相比,减少动作禁止区域、速度限制的影响,提高传片效率
(比本公司以往产品提高60%)

GTFR5280的详细页面在这里
对应φ300 mm 新型低头SAL-HV

硅片,硅晶圆BG胶带(乳白色)、透明、半透明晶圆等,不受晶片材质的影响,高精度定位平边和缺角
(比本公司以往产品提高50%)




一次性搬送φ300 mm 25枚搬运机器人KHR

可以一次性传输25片晶圆。
以为是一次性传输,所以大幅缩短传输时间




对应φ150、200 mm 化合物的STCR

可以高速传输EFEM、半导体制造装置内、检查装置等的晶圆。

对应φ150、200 mm 化合物的SAL

采用边缘夹持式,无晶片背面接触。可以同时兼容两种尺寸




φ300 mm用贴膜框架搬运MTCR

全轴使用AC伺服马达,所以除了晶片之外,还可以搬运托盘、小型玻璃基板等。


SEMICON JAPAN 2021 页可在此处找到