Semicon Japan 2010
在幕张Messe国际展览中心举办的日本半导体展示会2010（期间12/1～3）圆满结束。在百忙之中特意光临本公司的展示区的顾客，再次表示深深的谢意！
展示日期：2010年12月1日起12月3日
展示会场：东京幕张Messe
展示区号：第4大厅，4A-501
参展产品的介绍
SORTER SYSTEM (150mm)
可以说是一个LED晶圆搬送系统的技术革新。 从系统内取出晶圆，校准晶圆位置后，搬送到处理装置。 占用面积小，可以大大节省使用空间。
Susceptor搬送真空机械手和真空校准器 :
SVCR3330S-060-PM & SVAL30D1
利用Susceptor托盘把数枚晶圆在真空装置里面搬送，增加了搬送荷重， 而且为了减少搬送时间采用了Twin Chuck方式。 还开发了在真空装置里能校准Susceptor托盘的校准器。 能够对应各种尺寸和形状的Susceptor托盘。
小型机械手和校准器：（2英寸～4英寸):
SSCR3115N-150-PM & SSCR2090S-PM & SAL3241GR
专门为了LED用晶圆搬送装置而开发，能够对应从2英寸到4英寸的晶圆。 缩小安装面积，节省空间，适用于小直径半导体制造装置内和检查装置等的晶圆搬送和校准，并且准备了两种形式的机械手臂。
能够对应450mm直径晶圆搬送机械手 : GTCR5280-420-AM
可以对应平衡布局卡座的450mm晶圆搬送，升降轴范围420mm。采用双臂方式能够减少搬送时间。
晶圆搬送机械手 : MTCR4160S-300-AM
搬送切割装置用的小直径LED晶圆框夹盘的新的技术革新。搬送时夹持框体的外围实现了一次性夹持搬送，并且实现了在卡座里面的所有晶圆框的夹持搬送。配备本公司研制的交流伺服放大器后，可以控制安川电机的ΣⅤ系列电机。