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半导体搬运机械手臂

GTVCR53305轴真空水平多关节型洁净机械手臂

GTVCR5330-060-AM

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称GTVCR5330
使用环境洁净间内的大气:温度 15°C-40°C
工艺室温度  最大450°C
手臂单臂
到达距离635mm (手臂第3关节中心基准)
升降轴最大行程60mm
可搬运重量4kgf (手臂第3关节处基准)

产品型号列表

型号名称升降轴最大行程
GTVCR5330-060-AM60mm
  • 照片和视频展示产品为 GTVCR5330-060-AM(*照片和视频中的机械手臂使用了4片手指)

产品特点

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列。
实现了下降价格,但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能,功能。
能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局,能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。
通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于减小真空腔室的内部容积。
非常适合inline设备。

  • 机械手臂标准臂长:280mm, 330mm
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封:磁流体密封装置以及波纹管
  • 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器
  • 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式,利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
  • 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指

标准规格

※测试机型:GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的标准品。
被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同
机械手臂规格
机械手臂型号 GTVCR5330-060-AM
被搬运物 ~300mm晶圆
机械结构格式 水平多关节型 控制轴 5轴
电机类型 全轴采用AC伺服电机
可动范围 手臂第3关节中心基准 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
635mm 360度 60mm
搬运速度(平均) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
640mm/sec 160度/sec 60mm/sec
搬运速度(最大) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
950mm/sec 200度/sec 85mm/sec
精度 第1关节轴(J1轴)
第2关节轴(J2轴)
第3关节轴(J3轴)
第3关节轴(J5轴)
Z轴(J4轴)
0.00081度
0.00081度
0.00072度
0.00072度
0.98µm
搬运高度 219mm (底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1mm以内
洁净度 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置
耐真空度 1×10-6Pa
厂务 电源: 単相AC200~230V 2kVA 50/60Hz
控制器规格
控制器型号 C5000S系列
控制方式 串口RS232C或者并口光学I/O口
外观图(标准规格)
GTVCR5330-060-AM


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註