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系统

SSY-11010(储片盒内晶圆的自动搬运系统)搬送的系统

SSY-11010 Automatic wafer transfer system for wafer container  

产品视频

使用环境和规格/规格


产品概要

型号名称SSY-11010
使用环境洁净间内的大气环境
可对应片盒的种类200 mm 储片盒,
200 mm 片盒
晶圆尺寸200 mm
被搬运物硅片晶圆, 片间垫片
我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
可对应多家厂商规格的储片盒。更多信息请咨询弊司。
     
  • 照片和视频为 SSY-11010

产品特点

能够高精度完成搬运储片盒,晶圆盒内的减薄晶圆的自动搬运。
搭载储片盒自动开盖机构(已申请专利)

  • 自动识别储片盒内晶圆和垫纸(层间纸)
  • 一台设备可以完成打包和拆包的功能
  • 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
  • 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
  • 可自动识别晶圆高度
  • 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
  • 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
  • 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
  • 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

标准规格

我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
被搬运物 200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
可对应片盒的种类 200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
洁净度 ISO标准 Class 2
外形尺寸 1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高)
厂务 电源:AC200V±10%  洁净气源:0.5 MPa 150 NL/min 以上
重量 700 kg
外观图(标准规格)
SSY-11010


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单臂
  • ...双臂
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註