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半导体搬运机械手臂

SVCR32603轴圆柱坐标洁净机械手臂

SVCR3260-040-PM

产品视频

使用环境和规格/规格

产品概要

型号名称SVCR3260
使用环境真空部:温度 15℃~50℃
驱动结构内部:洁净间内的大气环境
             温度 15℃~40℃
手臂单臂
到达距离520mm (第3関節中心距離)
升降轴最大行程20mm / 40mm
可搬运重量2kgf (第3関節換算)

产品型号列表

产品型号升降轴最大行程
SVCR3260-020-PM20mm
SVCR3260-040-PM40mm
  • 照片和视频展示产品为SVCR3260-040-PM

产品特点

真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运。
相比SVHR系列机械手臂,可搬运重量提升2倍,具有较好的性价比优势。
另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性,方便客户对设备进行升级改造。

  • 机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封:磁流体密封装置和波纹管
  • 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 可以选配2相步进电机规格
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式
  • 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指

标准规格

测试机型:SVCR3260-040-PM (步进电机) 中的具有代表性的标准品被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同。
机械手臂规格
机械手臂型号 SVCR3260-040-PM
被搬运物 ~300mm晶圆
晶圆吸附方式 下托式/ 利用晶圆自重的边缘夹持式
机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴
电机类型 全轴采用2相步进电机
可动范围 手臂第3关节中心 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
520mm 330度 40mm
搬运速度(平均) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
300mm/sec 120度/sec 20mm/sec
搬运速度(最大) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
550mm/sec 170度/sec 30mm/sec
精度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)
82µm以下 0.009度 1.25µm
搬运高度 98mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1mm以内
洁净度 真空密封:磁流体密封装置和波纹管
耐真空度 1.33×10-6Pa
厂务 电源:DC24V±10% 8A
控制器规格
控制器型号 C4000
控制通讯方式 RS232C及并口I/O方式
外观图(标准规格)
SVCR3260-040-PM


产品一览


指南
  • ...大气
  • ...真空
  • ...防水
  • ...单手指
  • ...双手指
  • ...薄片晶圆
  • ...CE標註
  • ...JEL标准
  • ...KCs標註