总公司展览室
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展示机械手
在总公司展览室我们将展示作为我们司主力产品的机械手臂及伯努利手指等产品。
请联系下述联络方式，并恳请您能莅临现场！
- 5轴水平多关节型洁净机械手臂: GTFR5280/
不受晶圆材质: SAL38C3HV - 适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。
适用于200-300 mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner
- 一次性搬运25枚300mm晶圆: KHR3480
- 可以一次性传输25片晶圆。
以为是一次性传输，所以大幅缩短传输时间。
搭载旋转轴，可以对应多片盒布局设置。
- 5片连动间距可调手指的洁净机械手臂：MTCR4160L
- 可在如立式炉等间距不同片盒间高速搬运晶圆
- 晶圆搬送用机械手臂： STCR4160SN-300-CM/
校准器： SAL38C2 (光学式校准器) - 在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，新型双臂机械手臂。
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。
- 储片盒内晶圆的自动搬运系统：SSY-20010
- 可安全准确的搬运储片盒的的薄片。
- 桌面装卸载系统：SSY-10000
- 适用于2,3寸，100mm玻璃片，蓝宝石衬底，SiC，GaN，等多种晶圆的自动传输。
- 台式供应系统：SSY-10000
- 解決了人工手動搬送晶圓所造成的問題， 及提高產品品質和良率。
