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展示机械手

在总公司展览室我们将展示作为我们司主力产品的机械手臂及伯努利手指等产品。
请联系下述联络方式,并恳请您能莅临现场!

Tape-frame handling robot
胶膜框架搬运:MTCR4160
可实现Tape Frame片盒内各层位置的随机取放动作。可对应包括300mm晶圆规格的各种 Tape Frame。

GCR4210 (AC servo motor)
水平多关节型単臂洁净机械手臂:GCR4210 (AC伺服电机规格)
手指沿着片盒方向直线运动,无论使用晶圆夹持方式还是针对方形基板都可以在没有走行轴的条件下实现晶圆的搬运。

STCR4160SN (Closed-loop control)
双臂机械手臂加上疑似多轴规格:STCR4160SN (采用闭环位置控制)
通过旋转轴和手臂轴的同时制御配合,实现晶圆的搬送

SCR3160CSN (Closed-loop control)
适用于2寸-300mm晶圆传输的圆柱坐标单臂洁净机械手臂:SCR3160CSN (采用闭环位置控制)
采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式,有效地提高了机械手臂的可靠性

Clean robot with batch end-effector for 5 pieces of wafer
5片连动间距可调手指的洁净机械手臂:MTCR4160L
可在如立式炉等间距不同片盒间高速搬运晶圆

New wafer transfer robot/Warped wafer aligner with auto-adjustment software
晶圆搬送用新型机械手臂/可对应翘曲晶圆的新型校准器:MTCR (参考出展)/SAL38C3HV (参考出展)
根据半导体设备精确化,实现低震动。以及校准较大翘曲晶圆。

Wafer transfer tobot/aligner
晶圆搬送用机械手臂/校准器:STCR4160SN-300-CM/SAL38C2 (光学式校准器)
在保持高性价比和高速传输特性的基础上,解决了步进电机常见的丢步问题,新型双臂机械手臂。适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆位置的校准。

Automatic wafer transfer system for wafer container
储片盒内晶圆的自动搬运系统:SSY-10010
可安全准确的搬运储片盒的的薄片。

SSY-10000
桌面装卸载系统:SSY-10000
适用于2,3寸,100mm玻璃片,蓝宝石衬底,SiC,GaN,等多种晶圆的自动传输。

SSY-10000
台式供应系统:SSY-10000
解決了人工手動搬送晶圓所造成的問題, 及提高產品品質和良率。

适用于翘曲晶圆,减薄晶圆的伯努利原理手指,伯努利吸笔
适用于翘曲晶圆,减薄晶圆的伯努利机械手指 (接触式/非接触式) ,伯努利吸笔
为客户定制设计的,低价格伯努利机械手指。