展览会信息2010

Semicon Japan 2010

展示日期：2010年12月1日起12月3日

参展产品的介绍

• SORTER SYSTEM（150mm）
• Susceptor搬送真空机械手和真空校准器 :
  SVCR3330S-060-PM＆SVAL30D1
• 小型机械手和校准器：（2英寸～4英寸）:
  SSCR3115N-150-PM＆SSCR2090S-PM＆SAL3241GR
• 能够对应450mm直径晶圆搬送机械手 : GTCR5280-420-AM
• 晶圆搬送机械手 : MTCR4160S-300-AM

• 详细情报
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