要用搬送机械手,就选JEL


SEMICON Taiwan 2012

SEMICON Taiwan 2012

JEL将在台湾代理─佳霖科技的展位上展出我们的机械手臂
感谢各位的光临。

展示日期:2012年09月05日起09月07日
会 场:TWTC Nangang Exhibition Hall
展台编号:324



参展产品的介绍

柏努立式机械手(对应6寸与12寸)

SCR3100S-200-PM(Bernoulli type)

我们表演了柏努立式机械手(对应6寸与12寸)怎么夹住样片。
・适用于翘曲晶圆、薄晶圆的低成本夹盘。
・可配备在我公司任何型号的大气环境用搬送机械手上。
・通过晶圆样本进行验证,设计成客户要求的任意形状,满足各种尺寸、翘曲量、晶圆厚度的要求。

SCR3100S-200-PM (附掛柏努立的机械手)

SCR3100S-200-PM(Bernoulli type)

研發低價位的柏努立Chuck,以符合許多客戶降低成本的需求。 JEL一直以來都秉持客戶致上的原則,根據客戶的想法及配置,提出最適用的Chuck。

SCR + SAL3261GR

SCR + SAL3261GR

实现了用1台机械手和对准器搬送2~6英寸晶圆。提供一种紧凑式搬送部。

料盘, 电料盘, 装料/卸料系统 :SSY-10020

SSY-10020

这是以LED用为主的晶圆用搬送系统的新搬送方案。提供一种向电料盘自动供应、自动回收晶圆的系统方案。


展览会信息