要用搬送机械手,就选JEL


SEMICON JAPAN 2012

SEMICON Japan2012

在幕张Messe国际展览中心举办的日本半导体展示会2012(期间12/5~7)圆满结束。
在百忙之中特意光临本公司的展示区的顾客,再次表示深深的谢意!


展示日期:2012年12月05日 星期三 起12月07日 星期五
展示会场:东京幕张Messe
展示区号:4B-607


参展产品的介绍

450mm晶圆搬运机械手臂/对准器:
「GTCR5365-420-AM/MTCR4240-420-AM+水平移动轴/SAL3CJ1」

450mm晶圆搬运机械手臂/对准器:「GTCR5365-420-AM/MTCR4240-420-AM+水平移动轴/SAL3CJ1」

展示了450mm晶圆搬运机械手臂以及对准器的产品解决方案。
在展会上还展示了不带水平移动轴,以及带水平移动轴的两种类型的水平传输机械手臂。
可以根据用户的需求提供不同的传输机械手臂方案。

可用于翘曲,减薄晶圆的伯努利原理机械手指(JEL制造)

可用于翘曲,减薄晶圆的伯努利原理机械手指(JEL制造)

为了回答众多客户的需求,JEL开发了低价格的伯努利原理机械手指。
针对翘曲,减薄晶圆,可以根据客户设备的需要定制不同形状的机械手指。
在展会现场还针对300mm标准晶圆,以及客户自带的150-300mm晶圆进行了机械手臂的传输测试。

可用于150,200mm减薄晶圆的双臂带翻转机构的机械手臂/对准器:
「NEW STCR4160S-300-PM(暂定名称)/SAL3481」

可用于150,200mm减薄晶圆的双臂带翻转机构的机械手臂/对准器:「NEW STCR4160S-300-PM(暂定名称)/SAL3481」

使用JEL制造的伯努利原理机械手指进行了减薄晶圆的现场动态搬运展示。
双臂带翻转机构的机械手臂进行了传输150,200mm减薄晶圆的现场展示。
同时还展示了可用于150,200mm减薄晶圆的对准器。
机械手臂的双臂都安装有翻转机构,可以同时分别搬运150,200mm晶圆。

2,3寸,100-150mm晶圆对应的小型搬运机械手臂/对准器:
「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」

2,3寸,100-150mm晶圆对应的小型搬运机械手臂/对准器:「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」

1台的机械手臂和1台的Aligner,可以同时满足2,3寸以及100-150mm晶圆的搬运。
产品具有体积小巧布局灵活的特点。



展览会信息