SEMICON Japan 2013

Date:2013/12/04
在幕张Messe国际展览中心举办的日本半导体展示会2012(期间12/5~7)圆满结束。
在百忙之中特意光临本公司的展示区的顾客,再次表示深深的谢意!
展示日期:2013年12月04日 星期三 起12月06日 星期五
展示会场:东京幕张Messe
展示区号:4A-501
参展产品的介绍
450mm晶圆搬运机械手臂/450mm晶圆 Aligner:
GCR4280-420-AM/SAL30J1HV (新机型)

配备了450mm晶圆翻转机构,晶圆边缘夹持机构的机械手臂在现场进行了高速传输的现场展示。
能够对应无缺口晶圆的新型 Aligner。
晶圆搬运机械手臂/晶圆Aligner:
STCR4160SN-300-PM (新机型)/SAL3481HV (新机型)

低价,高速,无位置指令偏差的新型双臂机械手臂。
能够应对多种材质晶圆的新型Aligner。
桌面装卸载系统:
SSY-10000

适用于2,3寸,100mm玻璃片,蓝宝石衬底,SiC,GaN,等多种晶圆的自动传输。
晶圆搬运机械手臂/使用伯努利吸盘的 Aligner:
STCR4160SN-300-PM (新机型)/SAL3481

低价,高速,无位置指令偏差的新型双臂机械手臂。
・晶圆外缘5mm区域吸附式手指:
能够实现片盒内任意位置的晶圆传输
・薄型伯努利原理手指(专利申请中):
能够实现片盒内任意位置的翘曲晶圆,减薄晶圆的传输。
适用于翘曲晶圆,减薄晶圆的伯努利原理手指,伯努利吸笔:
伯努利吸笔: BRP-01

为客户定制设计的,低价格伯努利原理手指。