要用搬送机械手,就选JEL

SEMICON CHINA 2019

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感谢各位的光临。

会 期
2019年03月20日~03月22日
会 场
Shanghai New International Expo Centre (SNIEC), Shanghai
区 号
No. 2257
  •  参展产品的介绍

Our booth at SEMICON CHINA 2019

ReJe booth in SEMICON CHINA 2019

参展产品的介绍

储片盒内晶圆的自动搬运系统SSY

储片盒内晶圆的自动搬运系统SSY

一台设备可以完成打包和拆包的功能。
搭载储片盒自动开盖机构。
可动式储片盒,可实现开关盖机构的简略化,抑制交叉污染的发生
自动识别储片盒内晶圆和垫纸。

晶圆搬送用新型机械手臂MTCR(参考出展)

晶圆搬送用新型机械手臂MTCR(参考出展)

根据半导体设备精确化,实现低震动。
可选配搬送重量3kg,5kg的arm。可根据客户要求实现定制化产品。

可对应翘曲晶圆的新型校准器SAL3000HV系列(参考出展)

可对应翘曲晶圆的新型校准器SAL3000HV系列(参考出展)

可使用自带自动调整功能软件JEL校准工具,实现自动最优化校准多种晶圆。
以及校准较大翘曲晶圆。


展览会信息