SEMICON WEST 2019
感谢各位的光临。
- 会 期
- 2019年07月09日～07月11日
- 会 场
- Moscone Center San Francisco, CA（US）
- 区 号
- No. 6349
- 参展产品的介绍
ASUZAC INC. booth in SEMICON WEST 2019
参展产品的介绍
晶圆搬送用机械手臂STCR
采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式，有效地提高了机械手臂的可靠性
电机配备绝对值编码器，机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置，缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位置原点的时间
参考照片
光学式校准器SAL
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。
可以实现硅片中心和缺口的高速，高精度的定位
参考照片