要用搬送机械手,就选JEL

J技术中心

J-tech Center

在东京展览中心 (showroom) 我们将展示作为我们司主力产品的机械手臂及伯努利手指等产品。
若承蒙贵司提前联系!可以在现场就贵司晶圆做相动作确认。
请联系下述联络方式,并恳请您能莅临现场!

JEL技术中心信息

  • 伯努利吸着确认
vacuum check

伯努利吸着确认可以使用范围是150mm, 200mm, 300mm

  • 校准器精度测定
alignment precision measurement

使用于测定夹具来,可以在现场就贵司晶圆做相校准器精度测定

  • 机械手臂操作试开
robot operation training

在技术中心可以用于JEL机械手臂试开    

咨询 ・报名申请

窗口
株式会社JEL 总公司
电话号码
+81-84-932-6500
FAX号码
+81-84-932-6501
E-MAIL


展示产品

STCR4160SN-300-CM
300mm晶圆搬运双臂机械手臂 (采用闭环位置控制): STCR4160SN-300-CM
适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂。

GCR4210-300-PM
300mm晶圆搬运水平多关节型洁净机械手臂: GCR4210-300-PM
超洁净无尘间用多轴,4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4000-PM系列。
适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运。

SCR3100S-200-PM/SAL3261GR
对应2, 3寸, 100, 150mm的小型机械手/对准器: SCR3100S-200-PM/SAL3261GR
用一台机械手与一台对准器对应于2, 3寸, 100, 150mm硅片。提供充满简洁力和适应力的系统。

SSCR3090S-150-PM/SAL2241
超小型潔淨手臂&校准器專為處理2英吋的晶圓:SSCR3090S-150-PM/SAL2241
世界頂尖級最小&輕量的設計。 一個校準器可以處理2,3英寸,100mm晶圓對準。

SSCR3115N-150-PM/SSCR2090S-PM
小型机械手和校准器(2,3英寸,100mm): SSCR3115N-150-PM/SSCR2090S-PM
专门为了LED用晶片搬送而开发的机型,能够适应大小2,3英寸,100mm晶片。缩小了机体大小,节省空间,并且准备了两种形式的机械手臂。

STCR4160S-300-PM/SAL3481
可用于150,200mm减薄晶圆传输的机械手臂/校准器: STCR4160S-300-PM/SAL3481
展示了能够安全而且高精度地搬运LED蓝宝石2,3寸晶圆,以及半导体100-150mm晶圆的机械手臂产品以及可以高精度定位晶圆位置的校准器产品。产品具有体积小巧以及布局灵活的特点。

SAL3261HV
可用于2, 3寸, 100-150mm晶圆搬运校准器: SAL3261HV
适用于100-200mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型校准器。

SAL2081
200mm晶圆搬运边缘夹持方式校准器: SAL2081
通过夹持晶圆边缘的方式高速,高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边,缺口。

SSY-10000
桌面装卸载系统:SSY-10000
适用于2,3寸,100mm玻璃片,蓝宝石衬底,SiC,GaN,等多种晶圆的自动传输。

SSY-10020
料盘, 电料盘, 装料/卸料系统: SSY-10020
全新的主要用于LED行业的晶圆搬运系统。可用于多片结构工艺基座, 托盘上晶圆的自动供给和自动回收。

Bernoulli type end-effector
适用于翘曲晶圆,减薄晶圆的伯努利原理手指
为客户定制设计的,低价格伯努利原理手指。